POLOS® SPIN150X旋涂机 NPP 高级版 POLOS® SPIN150x是一种多功能、高质量的基材旋涂机,由NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。 可以同时实现台式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手动或自动(可选)化学药剂分配。 适用于涂层、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。
POLOS® SPIN150X旋涂机 NPP 标准版 POLOS® SPIN150x是一种多功能、高质量的基材旋涂机,由NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。 可以同时实现台式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手动或自动(可选)化学药剂分配。 适用于涂层、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。
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