POLOS® SPIN150X旋涂机 PTFE 标准版

POLOS® SPIN150x是一种多功能、高质量的基材旋涂机，由PTFE制成。它专为研发和小批量生产而设计。

可以同时实现台式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手动或自动（可选）化学药剂分配。

适用于涂层、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。

POLOS® SPIN150X旋涂机 PTFE 标准版

腔室规格：

- 最大支持6英寸（150毫米）晶圆 

- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板

- 材料： PTFE 

硬件规格：

- 液体过滤器

- 特殊的外壳和排水口设计，可在现场切换台式和内嵌式型号

- 用于注射器或分配喷嘴的中心注射座

- 盖锁和真空传感器确保用户安全

- 大型（可拆卸）触摸显示屏

- USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件更新

- 3 个输入/输出端口

驱动装置规格：  

- 间接无刷驱动装置 

- 最高 12,000 RPM（取决于基体/卡盘） 

- 高加速度和高精度 

- 加速/减速 1-30,000 RPM 

- CW、CCW旋转和Puddle选项

随附旋涂仪卡盘和适配器

- 随附1个A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盘.

- 随附1个D-V10-S50-PTFE-HD碎片适配器.

- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供