POLOS® SPIN150X 基材旋涂机 PTFE 高级版

POLOS® SPIN150x是一种多功能、高质量的基材旋涂机，由PTFE制成。它专为研发和小批量生产而设计。

可以同时实现台式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手动或自动（可选）化学药剂分配。

适用于涂层、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。

POLOS® SPIN150X 基材旋涂机 PTFE 高级版

腔室规格:

- 最大支持6英寸（150毫米）晶圆

- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板

- 材质: PTFE 

硬件规格:

- 液体过滤器

- 具有特殊的外壳和排水设计，可在现场轻松切换台式和嵌入式型号.

- 配备中心注射架，用于安装注射器或分配喷嘴

- 盖锁和真空传感器确保用户安全

-大型（可拆卸）触摸显示屏

- USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件更新

- 8 I/O 端口

-能够定义电机归零位置，便于在机器人控制/自动化环境中进行集成

-通过集成步进电机实现自动开盖和关盖.

驱动单元规格:  

- 采用间接无刷驱动单元

- 最高转速可达12,000 RPM（取决于基板/卡盘）

- 具有高加速度和高精度

- 加/减速范围为1-30,000 RPM 

- CW、CCW旋转和Puddle选项

随附旋涂仪卡盘和适配器

- 随附1个A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盘.

- 随附1个D-V10-S50-PTFE-HD碎片适配器.

- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供